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計装Cube72 計装ギャラリ「進化するプロセス計装機器」

プロセス分析機器@
測定信頼性を向上させた レーザガス分析計


横河電機 佐 藤 昌 幸
2015年10月
キーワード「計測/分析/監視」


 半導体レーザの発振波長を測定対象成分の吸収 線に合わせ波長掃引することで光吸収スペクトル を測定するTDLAS(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy)法は,極めて高い測定波長(波数)分 解能と高感度性能,測定対象にレーザ光を照射す るだけで非接触高速測定できる特長から,各種産 業における燃焼プロセス,石油や化学プロセスで のガス成分濃度測定等に応用されている。当社で は,これらの産業プロセスに,さまざまなガスの 濃度(O2,CO,CH4,NH3,H2O 以外にも,近赤 外線領域に吸収を持つガス)を測定するこができ る「TDLS200」を製造・販売しているが,適用す るアプリケーションでの測定信頼性や,機器のメ ンテナンス性においてさまざまな課題があった。 このたび,測定信頼性を向上させ,機器の設置容 易化とメンテナンス性を改善した新製品 を開発・発売した。

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